Společnost LANXESS vyrábějící speciální chemikálie vylepšila svou iontoměničovou pryskyřici pro odstraňování kyslíku Lewatit K 7333 pro použití v elektronickém průmyslu. Vylepšená polymerní matrice ve spojení s upraveným složením nyní umožňuje výrobu silně alkalického aniontového výměníku doplněného palladiem s nejvyšším stupněm čistoty, což umožňuje jeho použití pro výrobu ultra čisté vody (UPW) při výrobě polovodičů a leštění destiček. K výrobě vody s extrémně vysokou čistotou se zde používají pouze speciálně čištěné iontoměniče.
Jako jeden z předních výrobců iontoměničových pryskyřic chce společnost LANXESS tímto novým produktem získat další zákazníky v elektronickém průmyslu a posílit svoji pozici na trhu.
Úspěšná modernizace produktů pro průlomové aplikace
Iontoměnič se již několik let úspěšně používá ke katalytickému odstraňování kyslíku z technologické vody. „Okysličená voda protéká filtrem, který je naplněn materiálem Lewatit K 7333. V protiproudu prochází vodík filtrem. Iontoměnič doplněný palladiem zde funguje jako katalyzátor. Vodík a kyslík reagují v procesu „studeného spalování“ za vzniku vody,“ vysvětluje Hans-Jürgen Wedemeyer, manažer technického marketingu v obchodní jednotce Liquid Purification Technologies (LPT) společnosti LANXESS.
Další aplikací materiálu Lewatit K 7333 je katalytické odstraňování H2O2 (peroxidu vodíku) bez nutnosti použití vodíku. Tato technologie se stále častěji používá k výrobě ultra čisté vody. Takto vyrobená ultra čistá voda je ještě kvalitnější, protože zbytkový obsah iontů pro stále menší intervaly modulů v polovodičovém průmyslu je stanoven v rozmezí ppt/ppq. Obsah celkového organického uhlíku (TOC) by měl být v ideálním případě na hranici detekce. „Požadavky na čistotu vody jsou v reakci na zdokonalování a vylepšování modulů stále přísnější, což znamená, že je stále důležitější, aby se počet částic v rozsahu nanometrů výrazněji snižoval,“ objasňuje Wedemeyer.
K dosažení těchto velmi nízkých hodnot se používá speciální UV lampa. Lampa oxiduje veškeré zbytky organismů ve vodě za uvolňování CO2. Iontoměniče je pak absorbují ve formě hydrogenuhličitanů. Jedním z nežádoucích vedlejších účinků při ošetření ultrafialovým světlem je vznik peroxidu vodíku (radiolýza), který může poškodit následné iontoměniče. To vede ke zvýšené koncentraci TOC a tvorbě částic v následných iontoměničích. Materiál Lewatit K 7333 doplněný palladiem eliminuje peroxid vodíku vznikající při radiolýze až na úroveň nízkých ppt, přičemž samotný iontoměnič je zodpovědný pouze za minimální kontaminaci TOC, částicemi nebo zbytkovými ionty.
„Tato technologie se již používá v mnoha nových zařízeních a modernizuje se v těch stávajících. Proto očekáváme zvýšenou poptávku po našem iontoměniči Lewatit K 7333, abychom mohli plnit stále přísnější požadavky na čistotu vody v polovodičovém průmyslu,“ pokračuje Wedemeyer.
Iontoměniče – nepostradatelné pro mokré chemické postupy v elektronickém průmyslu
UPW je nepostradatelnou složkou při zpracování destiček nebo složitých mokro-chemických postupů při fotolitografii ve výrobě mikroelektroniky a nanoelektroniky. Tyto procesy se používají k výrobě polovodičových součástek, jako jsou počítačové procesory, paměťové čipy, světelné diody (LED), displeje z tekutých krystalů (LCD), LED displeje a fotovoltaické moduly. UPW se používá také v mikrosystémové technologii pro výrobu a zpracování miniaturizovaných mechanických součástí, například pro mikropumpy, mikromotory a mikroventily. Ultra čistá voda je důležitým předpokladem pro prevenci nebo odstranění usazenin nebo nečistot z jemných struktur až do rozmezí nanometrů, které by jinak vedly k výrobním vadám a neúnosně vysoké zmetkovitosti. „Vzhledem k tomu, že elektronika je stále menší, požadavky na kvalitu UPW se stále zvyšují,“ dodává Wedemeyer. Podrobnější informace naleznete na adrese www.lewatit.com.
